Clean Room

Class 10,000, 22±2, 50±5%

Equipments

장비명 : Thermal Evaporator

 

모델명 : APEC-0601 

 

용도 : 플라즈마 보조 박막증착

장비명 : Wet Station

 

모델명 : 실험실용반용기

 

용도 : 습식화학약품처리기

장비명 : Wet Station

 

모델명 : 실험실용반용기

 

용도 : 습식화학약품처리기

장비명 : Wet Station

 

모델명 : 실험실용반용기

 

용도 : 습식화학약품처리기

장비명 : 진공오븐

 

모델명 : 0V-02

 

용도 : baking

장비명 : Acid Scrubber system & Exhaust fan

 

모델명 :  AARON, AGS-01 system

 

용도 : 배기

장비명 : Movable Arm Hood

모델명 : CLE-020

용도 : 국소 배기

장비명 : Wet Station

 

모델명 : 실험실용반용기

 

용도 : 습식화학약품처리기

장비명 : Surface Electro Optics

 

모델명 : Phoenix-300 Touch

 

용도 : 접촉각 측정

장비명 : 금속현미경

 

모델명 : JP/BXFM

 

용도 : Microscopy

장비명 : 구리도금기

 

모델명 : 

 

용도 : 구리 도금

장비명 : R/O System Control

 

모델명 : CTT-3320

용도 : 역삼투압정수

장비명 : 배기형 시약장

모델명 : TOGA-GS02

용도 : 시약 보관

장비명 : Hi-Precision Lab Balance

모델명 : WBA-320

 

용도 : 정밀 무게 측정

장비명 : Electro Forming Machine

          -Ni 

모델명 : SW-PMS1

 

용도 : Ni Micro도금 및

       Electro-forming

장비명 : 실체현미경

모델명 : JP/CX40

 

용도 : Microscopy

장비명 : 표면장력시험기

모델명 : DCAT21

용도 : 표면장력 측정

장비명 : Surface Profiler

모델명 : AS-500

용도 : 표면 분석

장비명 : 필름애플리게이터

모델명 : FI/KSV Minitrough

용도 : 스핀코팅

MEMS Lab. School of MEchanical Eng., Pusan Univ.

Pusan, Republic of Korea

+82 051-510-2737

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